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几种表面形貌测量方法
发布者:admin  点击:322 发布时间:2019-9-27
今天小编给大家带来的这篇文章的一个主要的内容是关于物体表面形貌测量的几种常见的测量方法的一个简单的介绍,具体的介绍内容如下:表面形貌测量具体可以分为这么几种常见的表面形貌测量方法:机械探针式测量方法、光学探针式测量方法、干涉显微测量方法、扫描电子显微镜以及扫描探针显微镜这么5种比较常见的关于物体表面形貌测量的几种测量方法。
形貌测量
下面,小编首先来给大家介绍以下关于机械探针式形貌测量方法。像机械探针式形貌测量方法的主要的一个特征就是测量的范围比较的大,而且机械探针式形貌测量方法的测量精度也是属于比较高的,唯一不足的就是这种机械探针式形貌测量方法主语是一种点扫描测量,所以在测量的过程中就会比较浪费时间。

机械探针式形貌测量方法其实是在这几种关于形貌测量方法中是开发较早、研究最充分的一种测量方法。机械探针式形貌测量方法在测量的过程中主要还是在被测表面利用机械探针接触,当探针沿着被测表面展开移动的时候,被测表面的因为会存在着一些比较凹凸不平的地方,所以就会使探针进行上下移动的动作,这样的话,移动量由以及和探针组合在一起得到的位移传感器测量,就会使得所测数据在经过一些适当的处理后就会得到被测表面的轮廓的一些数据。而且因为这种机械探针测量方法是属于接触式测量,所以被测表面就会容易损伤。

再给大家介绍一种关于光学探针式的形貌测量方法:这种光学探针式的形貌测量方法其实与机械探针式测量方法在原理上其实基本上都是相似的,不同点主要在于探针是聚集光束。但是光学探针式的形貌测量方法主要是根据所采用的光学原理不同而去实施的。所以光学探针的形貌测量方法又可以具体的被分为几何光学原理型和物理光学原理型这两种不同的类型。
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